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国产CMP设备首次进入集成电路大生产线，核心装备自主可控迈出重要一步
11月21日，中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称“电科装备45所”)自主研发的200mm CMP商用机完成所内测试，发往中芯国际天津公司进行上线验证。这是国产CMP设 ...查看更多
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11月21日，中国电子科技集团公司第四十五研究所(以下简称“电科装备45所”)自主研发的200mm CMP商用机完成所内测试，发往中芯国际天津公司进行上线验证。这是国产CMP设 ...查看更多
